盟立FPD傳送系統(tǒng)包含直行、移載、旋轉(zhuǎn)、暫存等各類輸送機(jī)、旋轉(zhuǎn)工作站、升降機(jī)及存取機(jī)，對(duì)應(yīng)G2~G8.5各世代尺寸，整合各式制程設(shè)備，提供CF輸送系統(tǒng)完整解決方案。